# Druckmesszelle: Messprinzip erklärt

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## Summary
Die Druckmesszelle verständlich erklärt: Aufbau, Wirkprinzip und Einsatz präziser Drucksensorik für technische Anwendungen.

## Content
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# Die Druckmesszelle – das Messprinzip erklärt

Wissen & Hilfe

Dünnschichtbasierte Druckmesszellen eignen sich besonders für hohe Überlastfestigkeit, Langzeitstabilität und den Einsatz bei erhöhten Temperaturen oder Druckspitzen. Sie bilden das zentrale Messelement resistiver Drucksensoren und prägen deren Leistungsfähigkeit maßgeblich.

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Der folgende Beitrag gibt einen umfassenden Überblick über das Messprinzip, den Aufbau und die Funktionsweise moderner Drucksensoren mit Fokus auf Dünnschicht-Technologie.

In der modernen Drucksensorik kommen viele unterschiedliche Messprinzipien zum Einsatz, die jeweils spezifische physikalische Eigenschaften sowie anwendungsabhängige Vor‑ und Nachteile aufweisen. Das resistive Messprinzip auf Basis der Dünnschicht-Technologie, gilt insbesondere dann als gut geeignet, wenn hohe Überlastfestigkeit, ausgezeichnete Langzeitstabilität sowie ein zuverlässiger Betrieb bei erhöhten Temperaturen oder unter Druckspitzen gefordert sind. Dünnschichtbasierte Druckmesszellen bilden das zentrale Messelement dieser Drucksensoren und bestimmen massgeblich deren Spezifikationen.

## Technischer Hintergrund

### Die Funktionsweise der Druckmesszelle
Eine Druckmesszelle bildet das zentrale Messelement eines Drucksensors. Sie wandelt den aufgebrachten Druck in ein elektrisches, weiter verarbeitbares Messsignal um und stellt damit das funktionsbestimmende Kernbauteil des Sensors dar.

## Typische Fragestellungen

### Was ist der maximale Druckbereich?
Typische Werte für unsere Druckmesszellen sind 2 … 2000 bar

### Was ist die tiefste Einsatztemperatur?
-40 °C

### Was ist die obere Temperaturgrenze?
150°C

### Wie viele Lastzyklen schafft die Druckmesszelle?
Typischerweise mehr als 1 Million Lastzyklen

### Was ist der Bezugsdruck bei der Relativdruckmessung?
Der Atmoshpärendruck

### Was ist der Unterschied zwischen Dünnschicht und Dickschichtdruckmessezellen?

#### Dickschicht‑Druckmesszellen
Bei Dickschicht‑Druckmesszellen bildet eine Keramikmembran den Grundkörper. Die Messwiderstände werden mittels Siebdruckverfahren direkt auf die Membran aufgedruckt. Gedruckte Schichten besitzen eine porösere Struktur und eine rauere Oberfläche als Dünnschichten. Die typischen Schichtdicken liegen im Bereich von mehreren Mikrometern. Da Keramik nicht mit dem Prozessanschluss verschweißt werden kann, ist zur Medientrennung eine zusätzliche Dichtung erforderlich. Je nach Hersteller decken Keramik‑Dickschicht‑Drucksensoren typische Druckbereiche von etwa 2 bis 100 bar ab.

#### Dünnschicht‑Druckmesszellen
Dünnschicht‑Druckmesszellen – auch Metall‑Dünnfilm‑Druckmesszellen genannt – basieren auf einer metallischen Membran, auf die die Widerstände mittels Sputterverfahren abgeschieden werden. Das Dünnschichtverfahren erzeugt einen dichten, homogenen und planaren Schichtaufbau auf atomarer Ebene. Die Schichtdicken liegen typischerweise zwischen 50 und 500 nm. Dieser Aufbau macht die Sensoren besonders robust gegenüber Vibrationen und Schockbelastungen. Der Stahl‑Grundkörper kann direkt mit dem Prozessanschluss verschweißt werden, wodurch keine zusätzliche Dichtung notwendig ist. iST Senstech Dünnschicht‑Druckmesszellen werden vorwiegend für hohe Druckbereiche von 2 bar bis zu 2’000 bar eingesetzt

### Warum ist nur Relativdruckmessung möglich mit der Dünnschicht -Druckmesszelle
Dünnschicht‑Druckmesszellen sind konstruktiv in erster Linie für die Relativdruckmessung ausgelegt. Der Grund dafür liegt im grundlegenden Aufbau der Sensorelemente: Für eine Absolutdruckmessung müsste auf der Rückseite der Membran ein dauerhaft stabiles Referenzvakuum erzeugt und hermetisch eingeschlossen werden. Die Umsetzung eines solchen Vakuumraums auf einer metallischen Dünnschichtmembran ist konstruktiv sehr aufwendig.

Zudem werden Absolutdrucksensoren häufig in sehr kleinen Druckbereichen eingesetzt. In diesen Bereichen ist die mechanische Dehnung der eher dicken Membran sehr gering, was in der Regel nicht zu einem ausreichend hohen Sensorsignal führt. Auch für die Verwendung für die Differenzdruckmessung ist das Sensorsignal aus diesem Grund zu gering.

## Typische Fehlerquellen

- Unzureichende Reinigung vor der Ausführung der Verbindungstechnik Löten, Bonden usw.

- Mechanisches Zerkratzen der Dünnschichtoberfläche

- Zu hohe Temperaturen beim Aufschweissen im Bereich der DMS

## Zusammenfassung
Druckmesszellen sind das zentrale Messelement moderner Drucksensoren und wandeln den anliegenden Druck über die Verformung einer Membran in ein elektrisches Rohsignal um. In Kombination mit einer Signalaufbereitung (z. B. ASIC) entstehen daraus linearisierte und temperaturkompensierte Ausgangssignale für industrielle Anwendungen. Aufgrund des zugrunde liegenden Messprinzips sind Dünnschicht Druckmesszellen primär für die Relativdruckmessung geeignet.

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